微纳米操作系统/机器人要求非常高的运动控制精度,通常由显微视觉、驱动、传感和控制等组成,各部分间闭环回路配合,才能完成微纳米级精度的操作控制动作。这种动作有抓、提、移动、放置等。
而微纳米操作系统/机器人具有非常多的种类,例如基于光学显微镜的微纳操作系统、SEM基于扫描电子显微镜的微纳操作系统,以及SPM基于扫描探针显微镜的微纳操作系统,还有更多其他类型的微纳操作系统。微纳米操作系统/机器人也通常采用显微镜对操作过程进行观察和实况了解。
微纳操作器
在微纳米操作系统/机器人中,有一个非常重要的组成部分,叫微纳操作器。微纳操作器就是在微纳米操作系统/机器人中进行指l定动作的执行器,这个执行器需要提供微纳米级的运动精度。
一提到微纳米级运动控制精度的执行器,芯明天压电纳米运动与控制系统产品自然是该微纳执行器的主要选择。
芯明天压电纳米运动与控制系统以精度高、响应速度快著称,在各种微纳米级操作系统中得到非常广泛的应用,在现代科学技术领域也具有广阔的应用前景。
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